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专注于配套电镜,电子探针,XPS等高真空原位等离子技术超过50年,特别是针对电子束,离子束等在高真空下易产生积碳应用场景下等离子清洗设备的开发,其专利的低压等离子环绕技术可以极大程度降低等离子体对样品表面的损伤,且高效的清洁,其Evactron系列全球销售总量超过上万台。
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